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启源领先 (陕西)

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LED、太阳能行业用

砷烷(砷化氢)

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.9999%

+O2+Ar

≤0.04

N2

≤0.25

一氧化碳CO

≤0.01

二氧化碳CO2

≤0.04

硫化氢H2S

≤0.05

锗烷GeH4

≤0.05

H2O

≤0.35

甲烷+乙烷CH4+C2H6

≤0.50


磷烷(磷化氢)

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.9999%

+O2+Ar

0.1

N2

≤0.2

一氧化碳CO

≤0.1

二氧化碳CO2

≤0.1

砷烷AsH3

≤0.1

甲烷CH4

≤0.1

H2O

≤0.2


锗烷

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.999%

H2

50

甲烷CH4

1

+Ar+O2

0.5

N2

2

一氧化碳CO

1

二氧化碳CO2

2

H2O

1