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半导体行业用

砷烷(砷化氢)

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.99995%

H2O

≤0.1

N2

≤0.05

O2

≤0.02

二氧化碳CO2

≤0.01

一氧化碳CO

≤0.01

Ar

≤0.02

锗烷GeH4

≤0.01

硫化氢H2S

≤0.05

硅烷SiH4

≤0.01

磷烷PH3

0.025

硫化羰COS

0.025

一氧化二氮N₂O

0.02

烷烃C1-C2

≤0.05

烷烃C3-C4

≤0.05

磷烷(磷化氢)

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.9999%

O2

≤0.1

N2

≤0.1

二氧化碳CO2

≤0. 1

一氧化碳CO

≤0.05

甲烷CH4

0.1

H2O

≤0.1

Ar

≤0.1

砷烷AsH3

≤0.05

锗烷GeH4

≤0.05

硫化氢H2S

≤0.05

硅烷SiH4

≤0.05

锗烷

项目

指标 ( ppmv)

纯度

99.999%

+Ar+O2

0.5

N2

2.0

二氧化碳CO2

2.0

一氧化碳CO

1.0

甲烷CH4

1.0

H2O

1.0

H2

50.0